Українськийวิศวกรกระบวนการในการผลิตแผ่นเวเฟอร์ขนาด 200 มม. เคยติดตามการลดลงอย่างกะทันหันของผลผลิตแม่พิมพ์จากม้วนผ้าเช็ดทำความสะอาดไม่พันกันแบบไฮโดรเอนท์พันกันซึ่งใช้กับรางพิมพ์หิน ผ้าเช็ดทำความสะอาดดูสะอาดและให้ความรู้สึกนุ่ม แต่จำนวนอนุภาคของเหลวเผยให้เห็นปัญหา ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ที่ปัดน้ำฝนสำหรับห้องปลอดเชื้อไม่ใช่สินค้าโภคภัณฑ์ เป็นวัสดุสิ้นเปลืองกระบวนการที่ควบคุมการปนเปื้อนของอนุภาค ไอออนิก และสารอินทรีย์โดยตรงบนพื้นผิวที่สัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์
คำตอบสั้นๆ สำหรับคำถามในการคัดเลือกคือ: จับคู่วัสดุไวเปอร์กับคลาส ISO ของห้องคลีนรูม ขั้นตอนกระบวนการ และเคมีในการทำความสะอาด จากนั้นตรวจสอบทุกล็อตที่เข้ามาด้วยอนุภาคและข้อมูลที่สามารถแยกออกมาได้ อย่าเลือกตามยี่ห้อ สี หรือราคาต่อแพ็คเพียงอย่างเดียว
เริ่มต้นด้วยข้อมูลความสะอาด ไม่ใช่ราคา
รูปทรงของเซมิคอนดักเตอร์ในปัจจุบันเข้าถึงช่วงนาโนเมตรที่ต่ำ และอนุภาคเดี่ยวที่มีขนาดใหญ่กว่าขนาดข้อบกพร่องร้ายแรงสามารถทำลายแม่พิมพ์ได้ ผ้าเช็ดตัวทั่วไปหรือที่ปัดน้ำฝนอุตสาหกรรมไม่เป็นที่ยอมรับใกล้กับเวเฟอร์ เนื่องจากมีการกำจัดเส้นใย ปล่อยสารตกค้างที่เป็นไอออนิก และทิ้งสารตกค้างที่ไม่ระเหยหลังจากที่ตัวทำละลายระเหยไป
ตัวชี้วัดสี่ตัวกำหนดไวเปอร์เกรดเซมิคอนดักเตอร์:
- APC (จำนวนอนุภาคในอากาศ): อนุภาคขนาด 0.5 µm ขึ้นไป และ 5.0 µm ขึ้นไปที่ปล่อยสู่อากาศ โดยปกติจะรายงานต่อตารางเมตร ต่ำกว่าจะดีกว่า
- LPC (จำนวนอนุภาคของเหลว): อนุภาคที่ถูกปล่อยลงในน้ำปราศจากไอออนหรือ IPA โดยรายงานต่อมิลลิลิตร นี่เป็นตัวพยากรณ์การปนเปื้อนได้โดยตรงที่สุดระหว่างการเช็ดตัวทำละลาย
- สารสกัดไอออนิก: คลอไรด์ โซเดียม โพแทสเซียม ซัลเฟต และไอออนอื่นๆ ในหน่วย ppm ไอออนเหล่านี้อาจทำให้เกิดการกัดกร่อนและการเปลี่ยนแปลงแรงดันไฟฟ้าในอุปกรณ์
- NVR (สารตกค้างที่ไม่ระเหย): สารตกค้างที่เหลือหลังจากการระเหยของตัวทำละลาย โดยมีหน่วยเป็น มก. ต่อกรัมของไวเปอร์ NVR ที่สูงทำให้เกิดหมอกควันบนเลนส์และเวเฟอร์
แผนภูมิด้านล่างแสดงระดับอนุภาคสัมพัทธ์ในอากาศโดยทั่วไปสำหรับตระกูลวัสดุไวเปอร์ทั่วไป ค่าต่างๆ เป็นเพียงตัวอย่างสำหรับการเปรียบเทียบ ขอรายงานผลการทดสอบจริงจากซัพพลายเออร์ของคุณเสมอ
ที่ปัดน้ำฝนแบบนอนวูฟเวนจะปล่อยอนุภาคออกมามากกว่าโพลีเอสเตอร์แบบถัก เก็บให้ห่างจากบันไดที่อยู่ติดกันด้วยแผ่นเวเฟอร์
เปรียบเทียบตระกูลวัสดุหลัก
ที่ปัดน้ำฝนแบบทอ แบบถัก และแบบนอนวูฟเวนทั้งหมดปรากฏในแคตตาล็อกห้องคลีนรูม แต่โครงสร้างแบบถักเป็นมาตรฐานสำหรับการทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ เส้นใยโพลีเอสเตอร์ถักแบบต่อเนื่องจะปล่อยอนุภาคน้อยกว่าโครงสร้างแบบทอหรือแบบไฮโดรพันกันมาก และทนทานต่อตัวทำละลายและกรดที่ใช้ในกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์
| ตระกูลวัสดุ | การก่อสร้างทั่วไป | เหมาะที่สุดสำหรับ | ข้อจำกัดหลัก |
|---|---|---|---|
| ตัดเย็บจากผ้าโพลีเอสเตอร์ 100% | ถักด้วยเส้นใยต่อเนื่อง ขอบปิดผนึก | การทำความสะอาดแบบติดกับแผ่นเวเฟอร์ ISO Class 4-6 | การดูดซึมต่ำกว่าไมโครไฟเบอร์ |
| ซับไมโครไฟเบอร์ polyester | ผ้าถักเนื้อดีดีเนียร์ | สารตกค้างที่เป็นฟิล์มบางและดินมัน | ตรวจสอบความเข้ากันได้กับตัวทำละลายที่มีฤทธิ์รุนแรง |
| ไมโครไฟเบอร์ 80/20 | ไมโครไฟเบอร์โพลีเอสเตอร์/ไนลอนแบบแยกส่วน | พื้นผิวเครื่องมือและการทำความสะอาดโรงงานทั่วไป | ไนลอนสามารถทิ้งสารตกค้างได้หากคุณภาพไม่ดี |
| ถัก ESD polyester | โพลีเอสเตอร์พร้อมเส้นใยนำไฟฟ้า | ขั้นตอนกระบวนการที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต | ระดับอนุภาคสูงกว่าผ้าถักธรรมดาเล็กน้อย |
| ผ้านอนวูฟเวนแบบ Hydroentangled | เซลลูโลสและโพลีเอสเตอร์ผสมผสาน | การบำรุงรักษา พื้นที่ย่อย ไม่ใช่เวเฟอร์ | การสร้างอนุภาคสูง เก็บให้พ้นโซนเวเฟอร์ |
สำหรับการใช้งานแบบหันหน้าไปทางแผ่นเวเฟอร์ ผ้าเช็ดขอบแบบปิดผนึกที่ถักด้วยโพลีเอสเตอร์ 100% เป็นจุดเริ่มต้นที่ปลอดภัยที่สุด สินค้าอย่าง 1009LE ที่ปัดน้ำฝนคลีนรูม ให้การควบคุมพื้นฐานแก่คุณ การผลิตไวเปอร์ของเราดำเนินการในห้องปลอดเชื้อ ISO คลาส 5 และคลาส 6 และทีมงานด้านเทคนิคสามารถจัดหารายงานอนุภาคและแบบแยกได้เพื่อการตรวจสอบคุณสมบัติ
กำหนดเอง 1009LE ซัพพลายเออร์ปัดน้ำฝนคลีนรูม โรงงาน OEM / ODM - Suzhou Jujie Electron Suzhou Jujie Electron Co.,Ltd เป็นผู้จัดจำหน่ายที่ปัดน้ำฝน Cleanroom จีน OEM/ODM 1009LE และโรงงานที่ปัดน้ำฝน Cleanroom 1009LE เราเชี่ยวชาญในการคัส... ดูผลิตภัณฑ์ → จับคู่ไวเปอร์กับคลาส ISO และโซนกระบวนการ
โรงงานเดียวกันสามารถใช้ที่ปัดน้ำฝนที่แตกต่างกันสามแบบในสามโซนที่แตกต่างกัน กฎง่ายๆ ก็คือ: ที่ปัดน้ำฝนต้องสะอาดกว่าสภาพแวดล้อมที่ใช้ เนื่องจากการเช็ดอาจทำให้อนุภาคตกค้างบนพื้นผิวได้
- ISO คลาส 4-5 (การพิมพ์หิน การกัดกรด การสะสม): ใช้โพลีเอสเตอร์ 100% ถักพร้อมขอบที่ปิดผนึกและ LPC ที่จัดทำเป็นเอกสารที่ 0.5 µm ขึ้นไป ห้ามใช้ที่ปัดน้ำฝนแบบนอนวูฟเวนในโซนเหล่านี้
- ISO คลาส 6 (ลู่วิ่ง มาตรวิทยา EFEM ช่องโหลด): ถักโพลีเอสเตอร์หรือถัก ESD ขึ้นอยู่กับความไวคงที่ของขั้นบันได
- ISO คลาส 7-8 (การบำรุงรักษาอุปกรณ์ งานย่อย พื้นที่คลุม): ผ้าไมโครไฟเบอร์หรือที่ปัดน้ำฝนแบบทอช่วยควบคุมต้นทุนในขณะที่ยังคงให้การทำความสะอาดที่เชื่อถือได้
เมื่องานกำจัดสารอินทรีย์ตกค้างออกจากภายนอกเครื่องมือในพื้นที่ ISO คลาส 7 JW08522 ที่ปัดน้ำฝนไมโครไฟเบอร์ ดูดซับของเหลวได้มากกว่าอย่างเห็นได้ชัดโดยน้ำหนักมากกว่าผ้าถักมาตรฐาน ซึ่งช่วยลดเวลาในการทำความสะอาดและลดการใช้สารเคมี
กำหนดเอง JW-08522 ซัพพลายเออร์ปัดน้ำฝนไมโครไฟเบอร์, โรงงาน OEM / ODM - Suzhou Jujie Elect Suzhou Jujie Electron Co.,Ltd เป็นผู้จัดจำหน่ายที่ปัดน้ำฝนไมโครไฟเบอร์ OEM/ODM JW-08522 ของจีนและโรงงานที่ปัดน้ำฝนไมโครไฟเบอร์ JW-08522 เราเชี่ยวชาญในการปัดน้ำฝนไมโครไฟเบอร์ ... ดูผลิตภัณฑ์ → แผนภูมิเส้นด้านล่างแสดงให้เห็นว่าเหตุใดเทคนิคและคุณภาพของขอบจึงมีความสำคัญ ที่ปัดน้ำฝนแบบถักที่ปิดผนึกอย่างดีจะเข้าสู่สภาวะคงที่ต่ำหลังจากตีไปสองสามครั้ง ที่ปัดน้ำฝนที่ล้ำสมัยช่วยให้การหลุดร่วงในระดับที่สูงกว่ายาวนานขึ้นมาก
จังหวะแรกจะปล่อยอนุภาคออกมามากที่สุดเสมอ ขอบที่ปิดสนิทจะลดทั้งระดับสูงสุดและระดับสภาวะคงตัว
การซีลขอบ: รายละเอียดเล็กๆ แต่ให้ผลลัพธ์ที่ยิ่งใหญ่
ขอบตัดเป็นแหล่งหลักของเส้นใยที่หลุดร่อนในที่ปัดน้ำฝนในห้องคลีนรูม เมื่อใบมีดเฉือนผ่านผ้าถัก มันจะเปิดห่วงและปล่อยให้ปลายเส้นใยหลุดออกระหว่างการเช็ด การปิดผนึกขอบด้วยความร้อน การเชื่อมด้วยอัลตราโซนิค หรือการหลอมด้วยเลเซอร์จะดักจับเส้นใยเหล่านั้นและป้องกันไม่ให้เส้นใยหลุดออกจากกระบวนการ
- ใช้ขอบปิดผนึกด้วยเลเซอร์หรืออัลตราโซนิกสำหรับ ISO Class 5 และการใช้งานที่สะอาดกว่า
- ตรวจสอบว่าขอบที่ปิดผนึกยังคงมีความยืดหยุ่น ขอบแข็งสามารถขีดข่วนเลนส์และพื้นผิวขัดมันได้
- ตรวจสอบขอบภายใต้การขยายในระหว่างการตรวจสอบคุณสมบัติ และขอข้อมูลอนุภาคของขอบ
หากต้องการทราบรายละเอียดเพิ่มเติมว่าเหตุใดจึงเกิดการปล่อยอนุภาคแม้จะมีไวเปอร์ที่ดี โปรดดู การวิเคราะห์ของเราว่าเหตุใดที่ปัดน้ำฝนในห้องคลีนรูมจึงปล่อยอนุภาคระหว่างการเช็ด .
เพิ่มการควบคุม ESD ในกรณีที่มีความเสี่ยงจากไฟฟ้าสถิต
ที่ปัดน้ำฝนสามารถสร้างประจุไฟฟ้าสถิตได้ในขณะที่เลื่อนผ่านพื้นผิว ในโรงงานผลิตแผ่นเวเฟอร์ ประจุดังกล่าวสามารถสร้างความเสียหายให้กับเกตออกไซด์หรือดึงดูดอนุภาคในอากาศไปยังบริเวณที่คุณกำลังทำความสะอาดได้ ที่ปัดน้ำฝน ESD ถักด้วยเส้นใยนำไฟฟ้าเปอร์เซ็นต์เล็กน้อย ซึ่งโดยทั่วไปแล้วเป็นโพลีเอสเตอร์ที่บรรจุคาร์บอน ซึ่งจะระบายประจุลงกราวด์เมื่อผู้ปฏิบัติงานต่อสายดินผ่านสายรัดข้อมือและแผ่นรอง
ใช้ที่ปัดน้ำฝน ESD ในพื้นที่ถ่ายโอนเวเฟอร์ พอร์ตโหลด การจัดการเรติเคิล เครื่องมือมาตรวิทยา และทุกที่ที่ไม่รองรับอุปกรณ์ที่มีความละเอียดอ่อน
เมื่อคุณมีคุณสมบัติที่ปัดน้ำฝนสำหรับโซนเหล่านี้ ให้รวมเกรด ESD ในการทดลองใช้ด้วย ที่ ที่ปัดน้ำฝน ESD คลีนรูม จากซีรีส์เดียวกันสามารถเปรียบเทียบแบบเคียงข้างกันกับการถักมาตรฐานสำหรับประสิทธิภาพการสลายตัวของอนุภาคและประจุ
ซัพพลายเออร์ปัดน้ำฝน ESD แบบกำหนดเอง, โรงงาน OEM / ODM - Suzhou Jujie Electron Co.,Ltd Suzhou Jujie Electron Co.,Ltd เป็นซัพพลายเออร์จีน OEM/ODM ESD Wiper และโรงงาน ESD Wiper เราเชี่ยวชาญใน ESD Wiper แบบกำหนดเองและผลิตภัณฑ์อื่น ๆ ดูผลิตภัณฑ์ → ตรวจสอบซัพพลายเออร์ก่อนที่คุณจะกระทำการ
เอกสารข้อมูลจะบอกคุณเฉพาะสิ่งที่ซัพพลายเออร์วัดผล ไม่ใช่สิ่งที่พวกเขาควบคุม เนื่องจากที่ปัดน้ำฝนสัมผัสกับพื้นผิวเดียวกันกับที่สัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์ ความสอดคล้องกันแบบล็อตต่อล็อตจึงเป็นข้อกำหนดที่แท้จริง ใช้รายการตรวจสอบนี้ระหว่างการรับรองซัพพลายเออร์:
- การผลิตในห้องคลีนรูม: ที่ปัดน้ำฝนควรซัก ตาก ปิดผนึก และบรรจุในห้องคลีนรูมอย่างน้อยก็สะอาดพอๆ กับพื้นที่กระบวนการของคุณเอง
- การตรวจสอบย้อนกลับล็อต: ทุกล็อตควรมีหมายเลขล็อตและรายงานผลการทดสอบที่ครอบคลุม APC, LPC, สารสกัดไอออนิก และ NVR
- ความเข้ากันได้ของตัวทำละลาย: ตรวจสอบไวเปอร์ใน IPA อะซิโตน และเคมีผสมใดๆ ที่คุณใช้ก่อนที่จะอนุมัติ
- ความสมบูรณ์ของบรรจุภัณฑ์: โพลีคลีนรูมแบบถุงคู่เป็นขั้นต่ำ เพิ่มการฉายรังสีแกมมาเฉพาะเมื่อจำเป็นต้องฆ่าเชื้อจริงๆ
- การแจ้งเตือนการเปลี่ยนแปลง: ขอให้ซัพพลายเออร์แจ้งให้คุณทราบถึงการเปลี่ยนแปลงวัตถุดิบ ผงซักฟอก วิธีการตัด หรือกระบวนการปิดผนึก
หากคุณต้องการเปลี่ยนขั้นตอนเหล่านี้ให้เป็นข้อมูลจำเพาะไวเปอร์อย่างเป็นทางการ ติดต่อทีมงานวัสดุสิ้นเปลืองคลีนรูมของเรา ด้วยคลาส ISO ตัวทำละลายในการทำความสะอาด และขั้นตอนกระบวนการ และเราจะช่วยคุณจับคู่เกรดไวเปอร์กับโปรไฟล์ความเสี่ยง
คำถามที่พบบ่อย
ฉันสามารถใช้ไวเปอร์แบบเดียวกันสำหรับการพิมพ์หินและการบำรุงรักษา sub-fab ได้หรือไม่
ไม่ แยกที่ปัดน้ำฝนแบบหันหน้าไปทางเวเฟอร์ออกจากที่ปัดน้ำฝนเพื่อการบำรุงรักษา ที่ปัดน้ำฝนนอนวูฟเวนแบบ Hydroentangle สามารถใช้ได้ดีกับพื้นและโครงอุปกรณ์ แต่ต้องไม่ถูกนำมาใช้ในการพิมพ์หิน การแกะสลัก หรือพื้นที่ใดๆ ที่มีการเผยให้เห็นแผ่นเวเฟอร์
ราคาที่สูงขึ้นเป็นสัญญาณของความสะอาดที่ดีขึ้นหรือไม่?
ไม่เสมอไป ราคามักสะท้อนถึงบรรจุภัณฑ์และตำแหน่งแบรนด์ ตัดสินไวเปอร์ตามอนุภาคและข้อมูลที่สามารถแยกออกมาได้ ไม่ใช่ตามราคา ผ้าถักโพลีเอสเตอร์แบบปิดขอบราคาปานกลางสามารถทำงานได้ดีกว่าผลิตภัณฑ์ระดับพรีเมียมในคุณสมบัติทางเคมีเฉพาะของคุณ
ฉันจำเป็นต้องมีที่ปัดน้ำฝนปลอดเชื้อในห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์หรือไม่?
ความปลอดเชื้อไม่ใช่ประเด็นหลักในการผลิตแผ่นเวเฟอร์ จำนวนอนุภาคคือ ที่ปัดน้ำฝนปลอดเชื้อเป็นข้อกำหนดหลักด้านเภสัชกรรมและอุปกรณ์ทางการแพทย์ หากคุณเลือกที่ปัดน้ำฝนปลอดเชื้อ ให้ยืนยันว่าวิธีการฆ่าเชื้อไม่ทำให้โครงสร้างการถักลดลงหรือเพิ่มความสามารถในการสกัดได้
ฉันควรตรวจสอบคุณสมบัติใหม่บ่อยแค่ไหนหลังจากเปลี่ยนซัพพลายเออร์
ตรวจสอบคุณสมบัติใหม่ทุกครั้งที่ซัพพลายเออร์เปลี่ยนวัตถุดิบ การก่อสร้าง การปิดผนึกขอบ ผงซักฟอก หรือสายการบรรจุ แม้แต่การเปลี่ยนแปลงคุณภาพน้ำที่ใช้ล้างก็สามารถเปลี่ยนไอออนที่สกัดได้ออกไปอย่างมาก การรับรองคุณสมบัติใหม่ที่ได้รับการบันทึกไว้จะช่วยปกป้องกระบวนการและสร้างเส้นทางการตรวจสอบ
การตัดสินใจขั้นสุดท้าย
เครื่องปัดน้ำฝนสำหรับห้องปลอดเชื้อที่เหมาะสมสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คือเครื่องที่ตรงตามขีดจำกัดกระบวนการของคุณในด้านอนุภาค ไอออน และสารตกค้าง ตรงกับระดับ ISO ของโซน ทนทานต่อสารเคมีในการทำความสะอาดของคุณ และมาจากซัพพลายเออร์ที่สามารถพิสูจน์ความสม่ำเสมอในล็อตต่อล็อตได้ เลือกขอบที่มีการปิดผนึกซึ่งเส้นใยมีความเสี่ยง และเลือกโครงสร้าง ESD ในกรณีที่มีความเสี่ยงจากไฟฟ้าสถิต ด้วยกรอบการทำงานข้างต้น การซื้อที่ปัดน้ำฝนกลายเป็นการตัดสินใจตามกระบวนการที่ได้รับการควบคุมมากกว่าการซื้อตามปกติ
